|
Информация о статье
2013 г., Том 18, № 5, с.58-73
Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г.
Численная модель ВЧ-разряда в плазмохимическом реакторе
Рассматривается численная модель аксиально-симметричного высокочастотного разряда в гидродинамическом приближении. Для решения уравнений непрерывности для электронов и ионов и уравнения энергии электронов использована неявная экспоненциальная разностная схема, обеспечивающая положительные значения электронной температуры и концентраций плазменных компонентов. Разработанный алгоритм расчёта ВЧ-разряда замыкает численную модель плазмохимического травления, созданную в предыдущих работах авторов.
[полный текст]
Ключевые слова: высокочастотный разряд, гидродинамическая модель, плазмохимическое травление
Библиографическая ссылка:
Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Численная модель ВЧ-разряда в плазмохимическом реакторе // Вычислительные технологии. 2013. Т. 18. № 5. С. 58-73
|
|
|
|
