2016 г., Том 21, № 2, с.63-87

Приводятся результаты численного исследования математической модели микроэлектромеханического высокочастотного резонатора типа платформа класса МЭМС (микроэлектромеханические системы). Математическая модель прибора представлена нелинейной начально-краевой задачей, описывающей колебания подвижного электрода в виде недеформируемой платформы, присоединенной к пружинам с цилиндрической формой изгиба. Численно определены условия возникновения колебаний, оказавшиеся близкими к случаю, когда масса платформы много больше массы пружины. Получены в аналитическом виде формулы, достаточно хорошо описывающие основные особенности работы микроэлектромеханического резонатора. Аналогичные исследования выполнены для микрорезонаторов типа платформа с пружинами в виде консольной балки или натянутой пленки. Приведен пример расчета параметров микрорезонатора, определяющих заданный режим работы, который показывает, что найденные в рамках математической модели значения параметров характерны для МЭМС.